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應用于CMP、WET、DF、Track等區域工藝機臺設備

工藝機臺設備本身對振動(dòng)和剛性無(wú)特殊需求，設備載荷700～1500 kg/m2，或設備腳位承重高于700kg/in2，高架地板無(wú)法承載重量，需要使用工字鋼或H型鋼做成鋼構，上面鋪設鋼板來(lái)進(jìn)行承重。