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應用于A(yíng)SML、NIKON、CANON、SMEE等光刻機臺

光刻機對基座有嚴苛的微振及剛性需求，高精準度的安裝固定要求。采用高剛性RC結構達到最佳隔振效果，精密加工的特殊結構定位固定件，RC基座表面使用潔凈室許可的環(huán)氧樹(shù)脂進(jìn)行處理，光潔度滿(mǎn)足潔凈室標準，鋼度滿(mǎn)足光刻機的要求。