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應用于PH、MET等區域工藝機臺設備

工藝機臺設備本身對振動(dòng)和剛性需求較高，采用高剛性RC結構達到最佳隔振效果，RC基座表面使用潔凈室許可的環(huán)氧樹(shù)脂進(jìn)行處理，光潔度滿(mǎn)足潔凈室標準，硬度達到700kg/cm2 或以上。